 |
реклама |
|
|
|
|
|
|
|
История науки и техники
Аннотация к статье << Назад
|
ЛАБОРАТОРИЯ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ И СУБМИКРОННЫХ ПРИБОРОВ: 30 ЛЕТ ПУТИ ОТ МИКРО- К НАНОПРИБОРАМ |
К.В. Руденко, В.В. Вьюрков
В очерке изложена история становления и развития Лаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов Физико-технологического института РАН, которой на протяжении почти 30 лет руководил академик РАН А.А. Орликовский. Освещены достижения Лаборатории в области фундаментальных основ создания микро- и наноструктур приборов интегральной электроники.
Ключевые слова: нанотранзистор; наноразмерные структуры; электронная литография; плазменные технологии структурирования.
DOI: 10.25791/intstg.08.2018.103
Контактная информация: Е-mail: rudenko@ftian.ru
Стр. 23-36. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |
