EN | RU    
Издательство научно-технической литературы
Поиск по сайту:

На главную»

Контакты»

Журналы»

Новости»

Оформление статей»

Реклама в журналах»

Обратная связь»

Книги»

О фирме»



 реклама



История науки и техники

Аннотация к статье
<< Назад
ИССЛЕДОВАНИЯ И РАЗРАБОТКИ В ОБЛАСТИ МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
В.Ф. Лукичев, И.И. Амиров

В статье представлены основные результаты научной и организационной деятельности в области развития плазменных технологий формирования высокоаспектных микроструктур в кремнии и создания современного специализированного отечественного технологического оборудования для глубокого анизотропного плазмохимического травления кремния. На основе фундаментальных исследований были разработаны технологии, созданы конструкции и технологические маршруты изготовления изделий микросистемной техники нового поколения инерциальных систем управления.
Ключевые слова: плазма; микро и наноструктуры; кремний; плазмохимическое травление.


DOI: 10.25791/intstg.08.2018.109

Контактная информация: Е-mail: lukichev@ftian.ru

Стр. 92-99.

 разделы

«О журнале

«Архив журнала

«Тематическая направленность журнала

«Правила оформления статей

«Этапы рассмотрения и публикации статей

«Правила рецензирования статей

«Редакционная и профессиональная этика

«Обнаружение плагиата

«Редакция и редакционная коллегия

«Новости журнала


 журналы
...................................
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика
...................................
Приборостроение и средства автоматизации. Энциклопедический справочник
...................................
Промышленные АСУ и контроллеры
...................................
Экологические системы и приборы
...................................
Авиакосмическое приборостроение
...................................
Инженерная физика
...................................
История науки и техники
...................................
Музыка и время
...................................
Нотный альбом
...................................
Музыковедение
...................................
Бюллетень Главного ботанического сада
...................................
Всеобщая история
...................................
Справочник инженера
...................................
Прикладная физика и математика
...................................
Известия академии инженерных наук им. А.М. Прохорова
...................................

Последние новости:

Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге

Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg

Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018»

ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы

Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018"

   Rambler's Top100 Rambler's Top100         


    Система управления разработана в: ananskikh.ru
© Издательство "НАУЧТЕХЛИТИЗДАТ", 2005-2022