История науки и техники Аннотация к статье << Назад ИССЛЕДОВАНИЯ И РАЗРАБОТКИ В ОБЛАСТИ МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ В.Ф. Лукичев, И.И. Амиров В статье представлены основные результаты научной и организационной деятельности в области развития плазменных технологий формирования высокоаспектных микроструктур в кремнии и создания современного специализированного отечественного технологического оборудования для глубокого анизотропного плазмохимического травления кремния. На основе фундаментальных исследований были разработаны технологии, созданы конструкции и технологические маршруты изготовления изделий микросистемной техники нового поколения инерциальных систем управления. Ключевые слова: плазма; микро и наноструктуры; кремний; плазмохимическое травление. DOI: 10.25791/intstg.08.2018.109 Контактная информация: Е-mail: lukichev@ftian.ru Стр. 92-99.