История науки и техники Аннотация к статье << Назад ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМУ ИНСТИТУТУ РАН – 30 ЛЕТ В.Ф. Лукичев, К.В. Руденко, В.А. Кальнов Представлена история создания и развития Физико-технологического института РАН, который в этом году она отмечает свое 30-летие. Описаны научные подразделения ФТИАН РАН, направления научных исследоваий и научно-организационной деятельности. Ключевые слова: интегральная схема; микроэлектроника; наноэлектроника; квантовый компьютер; электронная компонентная база; нанотранзистор; моделирование технологий микроэлектроники; литография; ионные и плазменные технологии наноэлектроники; магнитные наноматериалы; МЭМС и НЭМС. DOI: 10.25791/intstg.08.2018.101 Контактная информация: Е-mail: lukichev@ftian.ru Стр. 03-17.