 |
реклама |
|
|
|
|
|
|
|
История науки и техники
Аннотация к статье << Назад
|
РАЗВИТИЕ ИОННО-ЛУЧЕВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ РАН |
Ю.П. Маишев
Представлена история развития ионно-лучевых технологий в Физико-технологическом институте РАН. Показаны полученные результаты и достижения.
Ключевые слова: ионно-лучевые технологии; пучки ионов инертных и химически активных соединений; источник ионов с холодным катодом; источник пучков быстрых атомарных и молекулярных нейтральных частиц; микро- и наноэлектроника.
DOI: 10.25791/intstg.08.2018.104
Контактная информация: Е-mail: maishev@ftian.ru
Стр. 37-46. |
|
|
|
Последние новости:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |
