 |
advertisement |
|
|
|
|
|
|
|
History of Science and Engineering
Annotation << Back
|
DEVELOPMENT OF ION-BEAM TECHNOLOGIES AT THE INSTITUTE OF PHYSICS AND TECHNOLOGY OF RAS |
Yu.P. Maishev
The history of the development of ion-beam technologies in the Institute of Physics and Technology of RAS is presented. The results and achievements are shown.
Keywords: ion beam technologies; ion beams of inert and chemically active compounds; ion source with cold cathode; source of fast atomic and molecular neutral beams; micro- and nanoelectronics.
DOI: 10.25791/intstg.08.2018.104
Contacts: Е-mail: maishev@ftian.ru
Pp. 37-46. |
|
|
|
Last news:
Выставки по автоматизации и электронике «ПТА-Урал 2018» и «Электроника-Урал 2018» состоятся в Екатеринбурге Открыта электронная регистрация на выставку Дефектоскопия / NDT St. Petersburg Открыта регистрация на 9-ю Международную научно-практическую конференцию «Строительство и ремонт скважин — 2018» ExpoElectronica и ElectronTechExpo 2018: рост площади экспозиции на 19% и новые формы контент-программы Тематика и состав экспозиции РЭП на выставке "ChipEXPO - 2018" |
